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JEOL扫描电子显微镜系统

产品名称:JSM-IT500 扫描电子显微镜

产品简介:JSM-IT500是JEOL InTouchScope系列的新机型。 从设定视野到生成报告,用于分析的软件整合于一体,加快了作业速度!是一款无缝操作,使用更加方便的扫描电子显微镜。

JSM-IT500是JEOL InTouchScope系列的新机型。
从设定视野到生成报告,用于分析的软件整合于一体,加快了作业速度!是一款无缝操作,使用更加方便的扫描电子显微镜。


视频介绍


http://www.jeol.com.cn/扫描电镜JSM-IT500视频


扫描电子显微镜JSM-IT500 InTouchScope™的特点及功能介绍:

3个关键点 使日常分析更迅速!更简便

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①关键点1 Zeromag
从样品座图形和CCD图像上可以寻找视野和指定分析位置。寻找视野非常轻松, 指定多视野连续分析的位置也很容易。

②关键点2 实时分析 (仅限于A/LA)
在图像观察过程中,进行EDS分析。
EDS谱图显示在观察窗口中, 如果给感兴趣的元素加上alert ,会更容易发现。

③关键点3 数据集中管理软件
数据的查看、再分析以及从SEM图像到EDS分析的全部数据报告可以一键生成。用数据管理图标或者从测试结束的数据列表中启动数据管理窗口并选择数据,一键就能生成报告。


关键点1 Zeromag ~将大视野光学CCD图像和SEM图像完美结合~                  

直到高倍率观察的顺利操作!

光学CCD图像和SEM图像的完美结合和无缝操作使工作效率大大提高

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利用Zeromag能简便自动地进行大区域观察和EDS分析

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利用Zeromag设置蒙太奇

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蒙太奇结果 4×4 (左:背散射电子成份像 右:Ca元素面分布图)
样品:混凝土 加速电压:15kV 高真空模式 拍摄区域:约4mm×3mm


利用Zeromag很容易设定大面积的蒙太奇区域,有利于成像和观察。蒙太奇功能在断裂分析和大区域中识别异物等从大面积区域上获取详细信息时非常有效。


关键点2 实时分析~SEM和EDS一体化集成~                              

利用Live Analysis功能,可在观察窗口中进行被观察区域的EDS分析。可以容易地找到自己感兴趣的元素,还能发现意料之外的元素。

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①显示存在于测试区域中的主元素。能指定元素并显示“Alert”。

②会显示分析区域的特征X射线谱图和自动定性分析结果。

③一键点击就可以在电镜操作界面和详细分析显示界面间切换。


关键点3 数据集中管理软件SMILE VIEW™ Lab~无缝创建报告〜                   

SMILE VIEW™ Lab是能集中管理与样品台位置联动的CCD图像、SEM图像、EDS分析结果等数据并快速生成报告的数据管理器。查看以前获得的数据、重新分析,生成报告等都能简便地进行。

①显示各个视野的名称。

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②能根据样品名、创建日期和数据类型等搜索数据。

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③在样品座图形或CCD图像上显示各个视野的位置。

④会列表显示被选区域的元素图、谱图等的数据和定量分析结果等。

主要技术指标


分辨率 高真空模式

3.0 nm (30 kV)  15.0 nm (1.0 kV)

低真空模式*1

4.0 nm (30 kV BED) 

图像倍率

×5~×300,000
  
(以128 mm × 96 mm 作为显示尺寸规定放大倍率)

显示倍率

×14~×839,724
  
显示器上的图像倍率(以358 mm × 269 mm 作为显示尺寸规定放大倍率)

电子枪

钨灯丝 电子枪完全自动合轴

加速电压

0.3kV~30kV

低真空压力设定范围※1 

10~650Pa

物镜光阑

3档  带有XY微调功能

自动功能

灯丝调整、电子枪合轴调整,聚焦、像散、衬度/亮度调整

最大样品尺寸

200 mm直径×75 mm高度
  
200 mm直径×80 mm高度※选配件
  
32 mm直径×90 mm高度 ※选配件

样品台

大型全对中式
  
X:125 mm Y:100 mm Z:80 mm
  
倾斜:-10~90° 旋转:360°

图像无缝拼接功能

标配

显示测试位置座标

直径203 mm

标准菜谱

有(包括EDS条件 ※2)

图像模式

二次电子像、REF像、成份像*1、形貌像*1、阴影像*1

获取图像的像素数

640x480  1,280x960 
  
2,560x1920  5,120x3,840

OS

Microsoft®Windows®10 64bit 

显示器

23寸触摸屏

EDS   功能*2

谱图分析、定性分析/定量分析、线分析(水平线分析、任意方向线分析)元素面分布、电子束追踪等

测长功能

有(两点间距离、平行线间距离、角度、直径等)

数据管理功能

SMILE VIEW™ Lab

生成报告功能

SMILE VIEW™ Lab

语言切换

可以在UI 上(日语/ 英语)

抽真空系统

完全自动 TMP:1   台、RP:1台或2台※1 

备注:Windows10 为美国微软公司在美国及其它国家的注册商标或商标


主要选配件

背散射电子检测器(BED) ※1

低真空二次电子检测器(LSED)能谱仪(EDS)※2

波谱仪(WDS)

电子背散射衍射检测器(EBSD)

加载互锁真空室(预抽室)

样品台导航系统(SNS)

样品室观察系统(CS)

操作面板

3D测量软件操作台

※1 为JSM-IT500LV/LA的标配功能。
※2 为JSM-IT500LV/LA的标配功能。