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JEOL扫描电子显微镜系统

产品名称:JSM-7500F 冷场发射扫描电子显微镜

产品简介:JSM-7500F场发射扫描电镜配备了场发射电子枪和半浸没式(semi-in-lens)物镜,配合Gentle Beam (GB模式即柔和光束)能够达到极高的分辨率。通过与GB模式组合,即使以能量低达数百电子伏的入射电子束也能获得很高的分辨率,是最适合观察样品浅表面的装置之一,此外,JSM-7500F还可以安装用于元素分析等的各种选配件。

  • JSM-7500F场发射扫描镜配备了冷场发射电子枪和半浸没式(semi-in-lens)物镜,配合Gentle Beam (GB模式即柔和光束)能够达到极高的分辨率。通过与GB模式组合,即使是用几百电子伏的入射电子束也能获得很高的分辨率,是非常适合观察样品浅表面的装置之一。此外,JSM-7500F还可以选配用于元素分析等的各种附件。
  • 强大的通用性与最高分辨率的完美组合
  • JSM-7500F场发射扫描电镜的电子光学系统将场发射电子枪和半浸没式(semi-in-lens)物镜组合为一体,冷场发射电子枪在低加速电压下也能够将电子束聚焦得很细,与通用型扫描电镜一样,对大样品也可以进行高分辨率的观察。
  • Gentle Beam(即柔和光束)能以极低能量的入射电子束观察样品的浅表面
  • 通过给样品加以偏压并照射电子束,利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 (柔和光束),以几百电子伏的入射电子对样品的浅表面进行高分辨率观察,这是迄今为止未能实现的。。
  • 新型 r-过滤器选择性检测二次电子和背散射电子
  • 新型 r-过滤器有标准SB(二次电子检测)模式、标准BE模式(背散射电子检测)、Sb模式(二次电子为主)和Bs模式(背散射电子为主)四种模式。Sb模式能检测混有任意比例背散射电子的二次电子,Bs模式能检测混有任意比例二次电子的背散射电子,这些功能在简明易懂的菜单上都可一键操作完成。
电子枪 冷场发射 
物镜 semi-in-lens物镜
分辨率 1.0 nm @ 15 kV、1.4 nm @ 1 kV
加速电压 0.1~30kV
束流 1pA ~ 2nA
自动光阑角最佳控制透镜 内置
倍率 x 25 ~ x 1,000,000
检测器 高位检测器(SED)
低位检测器(LED)
能量过滤器 r-能量过滤器
Gentle Beam模式 内置
样品交换室 内置(具有干燥氮气导入功能)
气锁式、可交换的最大样品:φ100mm×40mmH
样品台 5轴马达驱动、全对中测角样品台
样品移动范围 X: 70 mm , Y: 50 mm,Z: 1.0~25 mm,倾斜:-5~70°, 旋转: 360°
  • 选配*
  • 可插拔式背散射电子检测器
  • In-lens背散射电子检测器
  • 能谱仪(EDS*,**)

  • 每小时CO2的排放量 每年CO2的排放量
    正常运行时 0.481kg 4,214kg
    休眠模式时 0.411kg -
    真空系统关闭时
    (打开离子泵)
    0.286kg -