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JEOL扫描电子显微镜系统

产品名称:JSM-7610F 热场发射扫描电子显微镜

产品简介:JSM-7610F是一款半浸没式(semi-in-lens)高分辨率场发射扫描电镜,照明系统采用High Power Optics(高性能电子光学系统),可以进行高分辨率、高精度的快速元素分析。配合Gentle Beam (GB模式即柔和光束),可以用几百电子伏的入射电子束观察样品的浅表面。


  • JSM-7610F是一款半浸没式(semi-in-lens)高分辨率场发射扫描电镜,照明系统采用High Power Optics(高性能电子光学系统),可以进行高分辨率、高精度的快速元素分析。配合Gentle Beam (GB模式即柔和光束),可以用几百电子伏的入射电子束观察样品的浅表面。
  • 通过半浸没式(semi-in-lens)物镜进行高分辨率观察和分析
  • 半浸没式(semi-in-lens)物镜在低加速电压下也能将电子束聚焦得很细;浸没式(in-lens)肖特基场发射电子枪寿命长,能获得稳定的电流,这两者的结合既兼顾了高分辨率观察同时也能够进行高空间分辨率分析。
  • 通过GB模式, 以能量极低的入射电子束观察样品的浅表面
  • 通过给样品加以偏压并照射电子束,能够利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 ,以几百电子伏的入射电子对样品的浅表面进行高分辨率观察,这是迄今为止未能实现的。
  • 高性能电子光学系统能进行快速、高精度的分析
  • 电子光学系统采用了高性能电子光学系统。不仅能进行高分辨率观察还可以进行稳定、快速、高精度的元素分析。
  • 应用实例
    • 应用1 利用半浸没式(semi-in-lens)物镜进行高分辨率观察

    • Pt Catalyst

    • 样品:Pt催化剂

    • 加速电压:15kV

    • STEM image of CNT

    • 样品:纳米碳管的STEM像

    • 加速电压:30kV

    • 应用实例2 利用半浸没式(semi-in-lens)物镜进行高空间分辨率分析

    • LED cross section

    • 样品:LED截面(100nm以下多层结构的EDS分析)

    • 应用实例3 利用Gentle Beam 观察样品的浅表面

    • Paper filter

    • 样品:滤纸

    • 加速电压:0.5eV

    • Mesoporous silica

    • 样品:介孔二氧化硅

    • 加速电压:0.8eV
    • 电子枪 肖特基场发射
      物镜 semi-in-lens物镜
      分辨率 1.0 nm @ 15 kV、1.3 nm @ 1 kV
      分析模式:3.0 nm @ 15kV  WD8mm 5nA
      加速电压 0.1~30kV
      束流 几pA ~ 200nA @ 15 kV
      自动光阑角最佳控制透镜 内置
      倍率 x 25 ~ x 1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×75~×3,000,000(1280 x 960 pixels display);
      检测器 高位检测器(SED)
      低位检测器(LED)
      能量过滤器 r-能量过滤器
      Gentle Beam模式 内置
      样品交换室 内置(具有干燥氮气导入功能)
      气锁式、可交换的最大样品:φ100mm×40mmH
      样品台 5轴马达驱动、全对中测角样品台
      样品移动范围 X: 70 mm , Y: 50 mm,Z: 1.0~25 mm,倾斜:-5~70°, 旋转: 360°


      • 选配*
      • 可插拔式背散射电子检测器(RBEI,* )
      • 低角度背散射电子检测器((LABE*)
      • 波谱仪(WDS)
      • 能谱仪(EDS*,**)
      • 电子背散射衍射装置(EBSD)
      • 透射电子检测器(STEM)
      • 阴极荧光系统(CLD)