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JEOL扫描电子显微镜系统

产品名称:JSM-7800FPRIME 热场发射扫描电子显微镜

产品简介:JSM-7800FPRIME采用新开发的超高分辨率GBSH模式,达到了世界最高水准的分辨率。浸没式肖特基Plus电子枪,将最大探针电流从200nA提高到了500nA。

  • JSM-7800F PRIME采用新开发的超高分辨率GBSH模式,达到了世界最高水准的分辨率。浸没式肖特基Plus电子枪,将最大探针电流从200nA提高到了500nA。
  • 浸没式肖特基Plus场发射电子枪
  • 电子枪和低像差聚光镜的优化组合,实现了更高的亮度,能有效采集电子枪中发射的电子,即使在低加速电压下也能获得几pA~数10 nA 探针电流,保持最小的物镜光阑就可以进行纳米尺寸的高分辨率观察、快速元素面分布及EBSD分析。
  • 利用GBSH(Gentle Beam Super High Resolution)观察样品表面
  • 以前的GB※模式经过改进后,可以对样品施加更高的电压,这样在低加速电压下也能获得超高分辨率的图像。从样品的浅表面观察到纳米尺寸的元素分析,GBSH能根据各种不同的应用选择加速电压。
    ※Gentle Beam(GB) 通过给样品加以偏压(GB),对入射电子有减速、对释放出的电子有加速作用。
  • 通过Gentle Beam (即柔和光束GB模式) 观察样品的浅表面
  • 给样品加以偏压(GB),对入射电子有减速、对释放出的电子有加速作用。即使入射电子束到达样品时的能量很低,也可以获得高分辨率、高信噪比的图像。如果利用能施加更高偏压的GB模式,用数十电子伏能量的入射电子束,就可以进行更高分辨率的观察。
  • 通过多个检测器获取样品的所有信息
  • JSM-7800F配有四种检测器:高位检测器(UED) 、高位二次电子检测器(USD)、背散射电子检测器(BED)和低位检测器(LED)。UED过滤器的电压不同,二次电子和背散射电子的数量会改变,因此可以选择电子的能量,USD检测被过滤器弹回的低能量电子,BED通过检测低角度的背散射电子,能清楚地观察通道衬度。利用LED的照明效果能够获得含有形貌信息的、富有立体感的图像。
  • 应用实例
  • 利用GBSH进行观察
    JSM-7800FPRIME 标配了GBSH模式。下图是高定向热解石墨(HOPG)解理面的二次电子像,到达样品时的能量为1keV,左图中样品偏压为-2kV,右图中样品偏压为-5kV。 可以看出利用GBSH(样品偏压-5 kV)模式观察,HOPG的微细结构更加清晰,达到的分辨率更高。
  • 971_cn_jsm7800fprime_01.png
分辨率 0.7 nm(15 kV)、0.7 nm(1 kV)
分析模式:3.0 nm (5kV、WD10mm、5nA)
倍率 × 25 ~ × 1,000,000
加速电压 0.01kV ~ 30kV
束流
数pA~500nA
自动光阑角最佳控制透镜 内置
检测器 高位检测器(UED)
低位检测器(LED)
能量过滤器 UED过滤器电压可变功能内置
Gentle Beam模式 内置
样品台 全对中测角样品台、5轴马达驱动
样品移动范围 X:70mm, Y:50mm  Z: 2mm to 25mm 倾斜-5 ~ +70°  旋转360°
  • 主要选配件
  • 能谱仪(EDS)
  • 波谱仪(WDS)
  • 电子背散射衍射系统(EBSD)
  • 阴极荧光系统(CLD)